半导体设备数据收集系统EDA
SEMIE，设备自我描述-定义设备元数据，并为客户提供信息服务，以便从设备中获取元数据定义。元数据是建立在E设备模型的结构元素之上的（见图1）。SEMIE定义了元数据中应包含的某些背景信息，但它没有规定大多数数据使用者应用所需的特定过程和组件数据。
SEMIE，数据收集管理-定义了客户/用户定义和控制数据收集计划（DCPs）的方法。DCP可以指定事件数据收集、跟踪数据收集和异常报告。
SEMIE对EDA提供了一个有用的技术概述。SEMIE，设备数据采集指南-为EDA的实施者提供有用的信息和解释。
除了SEMIE和E之外，还需要其他几个来全面定义EDA。这套体系的其余成员如下：SEMIE，通用设备模型-提供创建设备结构模型的工具。SEMIE提供了为结构元素添加参数、状态模型、异常情况和SEMI对象的结构要素。
SEMIE，XML消息结构–定义了EDA使用的基本XML/SOAP消息传递方法。
SEMIE，设备客户端身份验证和授权–定义EDA消息传递的安全性，包括对设备绑定消息内容的加密，以及将客户端访问限制为仅具有适当功能的方式。
SEMIE，XML半导体通用组件-定义了通用数据类型的定义和通用错误类以及通用错误代码。
SEMIE，XML中测量单位符号的分类-定义了基本的单位符号和构建更复杂/复合单位的方法。
EDA接口成套标准主要集中在两个主要能力上。第一个，由SEMIE定义是设备自我描述（或元数据）。第二，数据的收集，由SEMIE定义。SEMIE，设备自我描述-定义设备元数据，并为客户提供信息服务，以便从设备中获取元数据定义。元数据是建立在E设备模型的结构元素之上的（见图1）。SEMIE定义了元数据中应包含的某些背景信息，但它没有规定大多数数据使用者应用所需的特定过程和组件数据。
SEMIE，数据收集管理-定义了客户/用户定义和控制数据收集计划（DCPs）的方法。DCP可以指定事件数据收集、跟踪数据收集和异常报告。
SEMIE对EDA提供了一个有用的技术概述。SEMIE，设备数据采集指南-为EDA的实施者提供有用的信息和解释。
除了SEMIE和E之外，还需要其他几个来全面定义EDA。这套体系的其余成员如下：SEMIE，通用设备模型-提供创建设备结构模型的工具。SEMIE提供了为结构元素添加参数、状态模型、异常情况和SEMI对象的结构要素。
SEMIE，XML消息结构–定义了EDA使用的基本XML/SOAP消息传递方法。
SEMIE，设备客户端身份验证和授权–定义EDA消息传递的安全性，包括对设备绑定消息内容的加密，以及将客户端访问限制为仅具有适当功能的方式。
SEMIE，XML半导体通用组件-定义了通用数据类型的定义和通用错误类以及通用错误代码。
SEMIE，XML中测量单位符号的分类-定义了基本的单位符号和构建更复杂/复合单位的方法。
以下规范与EDA有关，并将影响设备元数据：mm标准-构成mm半导体晶圆厂的基本设备通信集，因此必须在设备元数据中体现。就本文件而言，这套标准包括以下内容。
SEMIE30,GenericModelforCommunicationsandControlofManufacturingEquipmentSEMIE40,ProcessingManagementSEMIE87,CarrierManagementSEMIE90,SubstrateTrackingSEMIE94,ControlJobManagementSEMIE,EquipmentPerformanceTrackingSEMIE，时间同步和TS-Clock对象的定义-规定了工厂设备的时间同步方法，并定义了相关的TSClock对象。SEMIE没有被EDA标准所规定。然而，正确的时间标记是收集高质量数据的一个关键因素。
SEMIE，理解数据质量指南-在制定更具规范性的数据质量标准之前，定义了基本的数据质量概念。该规范对EDA的实施没有要求。SEMIE是一份指导性文件，不能包括具体要求。正在制定的配套标准是SEMI的规范（即，它将包含具体要求）。
SEMIE，模块过程跟踪-规定了过程模块内处理活动的数据收集事件。
以下规范与EDA有关，并将影响设备元数据：mm标准-构成mm半导体晶圆厂的基本设备通信集，因此必须在设备元数据中体现。就本文件而言，这套标准包括以下内容。
SEMIE30,GenericModelforCommunicationsandControlofManufacturingEquipmentSEMIE40,ProcessingManagementSEMIE87,CarrierManagementSEMIE90,SubstrateTrackingSEMIE94,ControlJobManagementSEMIE,EquipmentPerformanceTrackingSEMIE，时间同步和TS-Clock对象的定义-规定了工厂设备的时间同步方法，并定义了相关的TSClock对象。SEMIE没有被EDA标准所规定。然而，正确的时间标记是收集高质量数据的一个关键因素。
SEMIE，理解数据质量指南-在制定更具规范性的数据质量标准之前，定义了基本的数据质量概念。该规范对EDA的实施没有要求。SEMIE是一份指导性文件，不能包括具体要求。正在制定的配套标准是SEMI的规范（即，它将包含具体要求）。
SEMIE，模块过程跟踪-规定了过程模块内处理活动的数据收集事件。
